Испарительные геттерные и ионно-геттерные насосы. Обзорная информация
Саксаганский Георгий Леонидович
Аннотация издательства: Рассмотрены принципы действия, методы оптимизации, компоновочные схемы, конструктивные решения отдельных элементов, параметры и особенности эксплуатации испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов. Даны сравнительные технико-экономические и эксплуатационные характеристики испарительных насосов. Обоснованы критерии и сформулированы принципы их геометрической и технико-экономической оптимизации. Изложены основы проектировочного расчета насосов, требования к их функциональным элементам. Описаны конструктивно-технологические характеристики испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов на основе термических и плазменных источников возобновляемых геттерных пленок, конструкций интегрированного вакуумного тракта установок на их основе. Рассмотрены особенности эксплуатации вакуумных систем с испарительными насосами. Обзор предназначен для специалистов вакуумного машиностроения и приборостроения.
კატეგორია:
წელი:
1988
გამომცემლობა:
ЦИНТИХИМНЕФТЕМАШ
ენა:
russian
გვერდები:
28
სერია:
Криогенное и вакуумное машиностроение. Серия ХМ-6
ფაილი:
DJVU, 976 KB
IPFS:
,
russian, 1988